��ࡱ� > �� O Q ���� N �������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� )` �R� � bjbj�� 2 �{ �{ � � �� �� �� � 8 : N � d n n � � � � � � , . . . . . . $ h � H R ! � � � � � R � � s � � � � D � � , � � , � � � � h j � b 08G(��� � J , � 0 � Z � � d � j j � t � � � � � � � � � R R X X � � � � � � � � d ~ � ~ ���� 0 01 wzz@���v a c u u m c o a t i n g �(WY�NwzzN�v�WGr N6R�S��B\�v N�y�e�l0 0 02 �WGrs u b s t r a t e ���B\b�SSO0 0 03 Ջ���WGrt e s t i n g s u b s t r a t e �(W@�����Y _�Y0@���Ǐz-Nb@����~_gT(u\OKmϑ�T( b) Ջ���v�WGr0 0 04 @���Pg�ec o a t i n g m a t e r i a l �(ueg6R�S��B\�v�SPg�e0 0 05 ���SPg�ee v a p o r a t i o n m a t e r i a l �(Wwzz���S-N(ueg���S�v@���Pg�e0 0 06 �n\Pg�es p u t t e r i n g m a t e r i a l � gwzz�n\-N(ueg�n\�v@���Pg�e0 0 07 ��B\Pg�e( ��B\Pg(�) f i l m m a t e r i a l ��~b��B\�vPg�e0 0 08 ���S��se v a p o r a t i o n r a t e �(W�~�[�e�������Q, ���S�Qeg�vPg�eϑ, d��N��e������ 0 09 �n\��ss p u t t e r i n g r a t e �(W�~�[�e�������Q, �n\�Qeg�vPg�eϑ, d��N��e������0 0 01 0 �l�y��sd e p o s i t i o n r a t e �(W�~�[�e�������Q, �l�y(W�WGr N�vPg�eϑ, d��N��e�������T�WGrh�b��y0 0 01 1 @���҉�^c o a t i n g a n g l e �eQ\0R�WGr N�v�|P[�eTN��@�h�b��l�~KN���v9Y҉0 � � � � � � � � � � � � � Z h j l n z ~ � � � � � � , 0 L N v z � � � � � � ��������������ʻ������ٓʌ����|�|�����i�� $h�k� hk[� B*OJ QJ ^J o(ph hk[� B*OJ QJ ^J o(ph h�B' hk[� hk[� 0J j hk[� Uhk[� B*o(ph� h�+ hk[� CJ OJ PJ aJ o(hk[� CJ OJ PJ aJ o(U hk[� o(j hk[� Uo( hk[� hoR� j hoR� Uh/*� hFr� CJ OJ PJ aJ o(h/*� h/*� ) V � � @ � � : � x � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �9[�p]�pgd�+ 7$ 8$ H$ gd/*� � � �� ��ؚwzz�|�~ g�RFU :N�[7bR ��N