��ࡱ�>�� NP����M��������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������)` �R�P<bjbj��2@�{�{(���������������llll x��2������{{{72929292929292$�3hB6N]2E�{{{{{]2������2�1�1�1{\����72�1{72�1�1���1�� `9K�ş�l�-��172�20�2�1�6�1�6�1�1�6��1\{{�1{{{{{]2]2�1 {{{�2{{{{���D (D ���(������������� wzz@����b/g�SU\�S�S Sf[@���g�e(u�N(WIQf[CQ�Nh�b�6RY�O�b��0��T �1817t^ �Fraunhofe(W�_�V(uSmkxx�b]xx��O���s�t �vP6q,{N!k���_�Q�S\�� �1835t^�NMR g�N(uSf[n ��l�m�y�N��\����[�N/fgHQ(WNLu N6RY�vIQf[����0Teg ��N�N(WSf[�n�m�T��l-N@�6RT�yIQf[����050t^�N �d�'Y�_�z�s�t�X����vN�N�^(uY �Sf[�n�m@����l�ek��wzz@����S�N0 00wzz���S�T�n\ُ$N�ywzzirt@����]z� �/fď�N(W�]N���W��Y6RYIQf[�����v$N�yg;N���v�]z�0�[�N'Yĉ!j0W�^(u ��[E� N/f(W1930t^�Q�s�N�libce�l---:g�h�l�bl�|�~KNT0 001935t^ � g�Nx6R�Qwzz���S�m�y�vUSB\�Q�S\��0FO�[�vgHQ�^(u/f1945t^�NT@�6R(We5u5u�S N�]\O �(u�N(Wё^\ N@���x�Tňp�I{(u��v@�B\ � N�T@�IQf[����0Teg �xvzǑ(u�Nؚ���yP[@�(W�s�tI{�~Pg�e N�m�yIQf[����070t^�N�Neg �xvz�T�^(u�N�yP[���R�m�y0�S�^�yP[@��TI{�yP[Sf[l�vI{N�|R�e�b/g0�[�N1u�NO(u�N&^���yP[ � ��c�O�NEQR�v;mS�� ��X�R�Nh�b��v�S�^��^0�cؚ�N8TD��SP[�v���y'` ��MQb_b�g�r>f�_�~�g ��N � N T z�^0W9e�U�NIQf[�����v'`�� �/fIQf[����6R ��]z��vxvz�T�SU\�eT0 00�[E� N �wzz@����v�SU\�S z��܏܏ YBg�vY0b�Neg wN*Nُ*N g$N~vt^�S�S�v�y�b�S z� 0019N�~ 00wzz@����] g200t^�v�S�S0(W19N�~�S�N�N�v/fY�N�c"}�T��x6��k0�c"}��vp���(Wdkg���_0REQRSO�s0 001805t^, _�Yxvz�c�҉Nh�b����vsQ�|(Young)0 001817t^, �\� Nb_b�Q�S\��(Fraunhofer)0 001839t^, _�Yxvz5u'_���S(Hare)0 001852t^, _�Yxvzwzz�n\@���(Grove;Pulker)0 001857t^, (W.ll-N���Sё^\Nb_b����(Faraday;Conn)0 001874t^, �bS�6RbI{�yP[SOZ�Tir(Dewilde;Thenard)0 001877t^,�����vwzz�n\�l�yxvzb�R(Wright)0 001880t^, �x"lSTirl�v�p�(Sawyer;Mann)0 001887t^, �����vwzz���S(iW�W) (Nahrwold;Pohl;Pringsheim)0 001896t^, _�Yx6Rb_b�Q�S\���vSf[�]z�0 001897t^, xvzb�R�V/lS���v"l؏�S�l(CVD); ���S�vIQf[r^�mKmϑ�l(Wiener)0 0020N�~�vMR50t^ 001904t^, WR{ N�n\@������_N)R(Edison)0 001907t^, _�Yxvzwzz�S�^���S�b/g(Soddy)0 001913t^, 8TD�I{)n�~�vxvz(Langmuir,Knudsen,KnackeI{)0 001917t^, �s�t�h N�n\�l�y����5u;�0 001920t^, �n\t���vxvz(Guntherschulzer)0 001928t^, ��N�vwzz���S(Ritsehl,CartwrightI{)0 001930t^, wzzl�v���Sb_b���_�|P[(Pfund)0 001934t^, JS�f�s�t�~ Nё�vwS�~@�(Kurz,Whiley); �����l�y(u�v�s�t�vI{�yP[SOnm(Bauer,Strong)0 001935t^, ё^\�~5u�[hV(u�vCd:Mg�TZn�vwzz���SwS�~@���xvzb�R(Bausch,Mansbridge); ^ml�100��[g܏\�\�b�@�ݔ(Strong);IQf[�\� N@�6RUSB\�Q�S\��(Strong,Smakula); ё^\��u�b_`�vxvz(Andrade,Matindale)0 001937t^, O(uŔ�S\hV�v�[\IQ_g4Yx6Rb�R(Wright); wzzwS�~���S@���x6Rb�R(Whiley); �x�c�X:_�n\@���x6Rb�R(Penning)0 001938t^, �yP[p��Qh�b�T���S�S�_N)R(Berghaus)01939t^, �SB\�Q�S\��@�6Rb�R(Cartwright,Turner)0 001941t^, wzz@�ݔQ6Rb����(u�vё^\�{0 001942t^, NB\�Q�S\���v@�6R(Geffcken); TMO }R�y(u�vё^\�yP[�nx6Rb�R0 001944t^, �s�t�v5uP[nmx6Rb�R(Rice,Dimmick)0 001945t^, YB\IQf[�n�lhVx6Rb�R(Banning,Hoffman)0 001946t^, (uX\�~�l8T6e�lKmϑ�����v�S�^(Friedman,Birks); ��VGoodfellowlQ�Sb�z0 001947t^,200��[g܏\�\�b�@�ݔb�R0 001948t^ ���V�V�[IQf[�[���[(OCLI)�^�z;�l�y�|P[�vwzz�_����S(Harris �Siegel);(uIQ�Ǐ�seg�c6R�����v�S�^(Dufour)0 001949t^ �^�ё^\��u�b_`�vxvz(Schulz)0 001950t^ ��n\t��_�Y�^�z(Wehner);JS�[SO�]N_�Yw�ek;T�y�_5uP[�]N_�Yw�ek;�QIQ\�x6Rb�R(Turner �Hoffman �Schroder);QX�eňp���_�Y�Q�s(hollandI{)0 001961t^, NO��\�s�s�tx6Rb�R(LeyboldlQ�S); _�YxvzCQ }�v�n\�N��(Laegried,YamamuraI{). 001962t^, _�Yxvz(u�NSf[R�g�v�n\�e�l; �x(Massey) �Tё^\(Lucas) �v5u'_l�v�l�y; xvz\O:Nnm(u�v�N(��v\���n\�e�l(Stuart,AndersonI{);LeyboldlQ�S�v�N�TۏeQ��V^:W; _�Y�Q�CQ }�v��l�S(Hoenig). 001963t^, _�Yx6R�R�f2�'Yl�vޏ�~@�����Y(Charschan,SavachI{); �yP[@����]z�x6Rb�R(Mattox). 001964t^, IQuOSb�����vPECVD(I{�yP[SO�X:_Sf[l�v�l�y) �e�lx6Rb�R(BradleyI{). 001965t^, OP�S�n\�l�y�e�lx6Rb�R(MaisselI{); �����v�oIQl�v�l�y�e�lx6Rb�R(Smith,Turner); �~Pg�e�v\���n\�l�y�e�lx6Rb�R(Davidse,AndersonI{); ��Q�oIQ�l�y�e�lx6Rb�R(SmithI{); ��x��~�~��@b(u�vYB\wzzё^\Q&^��x6Rb�R(Galileo). 001966t^ �8h�S�^X-N�v�yP[@�ݔ(MattoxI{); \O:N�m�nBR(u�vo�ё^\�v�yP[@���x6Rb�R(Spalvins); D�@w'`��}Y�v3�IQ�S\��( (N<P<����� h�h!o(Uh�n�CJaJh�n�h�n�CJaJo(b  v � � * � H � � ��:��X��0���"����������������������������gd�n�$a$gd�n�P<�"|��>z"�P��*x� ���>F�8p(�(B)�)4*�*�����������������������������gd�n�3MlQ�S). 001967t^, RwQ N�n\@��b�R(Lane);wzz�yP[@����e�l�S�_N)R(Mattox); N�g�n\�e�lx6Rb�R(Baun,WanI{); ؚwzzag�N N �_r���v�l�y(Mattox). 001968t^, �el��{-N �\�W��N�v�yP[@���(Mattox,Klein), ُ*N�e�lTeg(W*�)Y�]N-N�SZP�yP[l�v�l�y. 001969t^, �x�c�n\(WJStb_��N�Q�ۏL� �Y�y�n�c�n\�n�S�_N)R(Mullay);LeyboldlQ�S�v�e�W�n\@���:g�N;���S����b_`�V�QHr�SL�0 0020N�~70t^�NT�ywzz@����b/g�v�^(uhQb��[�s�NNS0�����b/g�v�SU\ۏeQĞё�eg0 001970t^ �wzz���S�vzz�_4��g5uP[�nx6Rb�R(ULVAClQ�S);ؚ�l�y��sYB\IQf[@���:gx6Rb�R(OCLI);zz�_4��g�yP[@�����Y(W�e,g�Q�s(ULVAClQ�S)0 001971t^ �(u�yP[p��Q�v�e�l(W�s�t N@����vlQ�S(W N\�V�['Yϑ�m�s;lx�x��x6Rb�R(AisenbergI{);%�b_��N�Q�v�x�c�n\�e�l�S�_N)R(Clarke);�NaMOn�v3��g5u'_���S�n�Q�s(Snaper �Sablev);���SǏ z-N �;m'`lSO�vI{�yP[SO�o;m(Heitman �AuwarterI{);@�ݔ�v���pSň�~x6Rb�R(Galileo);O(u5uP[_g���S�n�v�yP[@�����Y�Q�s(ChamberlQ�S)0 001972t^ ��|P[_g�V�l�y�e�lx6Rb�R(Tagaki);Ǒ(u�yP[�g�vؚwzz�n\@�����Y�Q�s(Weissmantel);����b_`�v Tekp��QHe�^�vxvz(mattoxI{);�~Q N@����v��Y���_^�l�^(u0 001973t^ �5u@�L�NǑ(u�e�W(�O�N�^�v�yP[@�����Y(BelllQ�S);I{�yP[SO�X:_Sf[l�v�l�y(PECVD)�e�l(Ws^b_g�S�^X-N�^(u(Reinberg)0 001974t^ ���+}Y �'lnm�b/g�Q�s(Sowell �CuthrellI{);�yP[p��Q��-N�S)�^�R�vxvz(Sowell,CuthrellI{); s^b��x�c@����b/g�S�_N)R(Chapin). 001975t^ ��S�^�yP[@����b/gx6Rb�R(MurayamaI{); �g�r4��g�x�c�n\�b/g�S�_N)R(PenfoldI{); b! d!�eJS�[SOPg�e�vRP[_gY�^(MBE)x6Rb�R(Cho �Arthur);�N�f_�yP[@����b/gx6Rb�R(Schiller);}lf�f��g N@���Q�s(Chevrolet)0 001976t^ ��yP[�g(u�N�l�y�����v Tekp��Q(Weissmantel)0 001977t^ �-N��s^b��x�c�S�^�n\�l�y�lx6Rb�R(CormiaI{);ITO���vwzzwS�~@�x6Rb�R(Sierracin �SheldahlI{);U^�X�s�t(W�~�n\@�����Yx6Rb�R(Airco TemescallQ�S);�n\����b_`�V�QHr�SL�(ThorntonI{);(W�~Q N�n\�R�p@�\�b���(Chahroudi)01978t^ �(W�~Q N@�6RIQM�\��b�R(CoburnlQ�S);�S�c5u'_���S�nx6Rb�R(Dorodnov);I{�yP[SO�f'_���Sx6Rb�R(AksenovI{);�z(uITO���n\�l�y�e�lx6Rb�R(Teg�{�yCP��);�_/_�g'`5u�g�N(3MlQ�S)0 001979t^ �FU(u(W�~NO��\�s�s�t@�����Y�beQO(u;�n\�l�yQ�r���[�s�NNS(Cormia ChahroudilQ�S);s^b��x�c4��g�n\�S�_N)R(BOCCTlQ�S);(W�~ؚ�l�y��s�s�t�n\@�����Y�N(LeyboldlQ�S)0 001980t^ ��yP[�g9e�U��@�씜��v�^�R(Hoffman �Gaerttner);,{N�S'Y�W�n\wS�~@�����Y�N(LeyboldlQ�S);Y'_l�v�l�y(W��V�[�s�NNS;Ag�W�p�c@����[�s�NNS(LeuboldlQ�S)0 001981t^ �(W�]wQ N(uirtl�v�l�y�l@�lx��;ňp�lx�N�vňp����TY�R����(LeyboldlQ�S);ňp����v�n\�yP[@�(LeyboldlQ�S);�n\wS�~@���Y�N(LeyboldlQ�S);ؚ�l�y��s�v(W�~ITO Ag ITO@�����Y�N(LeyboldlQ�S);h�b�@����v�S\��x6Rb�R(3MlQ�S)0 001982t^ ����_�|P[�vl�v���S�[�s�NNS(ULVAClQ�S);�el��x�c�g�r4��g�S�_N)R(Mckelvey);�el�s^b��n\v�x6Rb�R(Tico TitaniumlQ�S). 001983t^ �p��Q�X:_Sf[;m'`�vxvz(Lincoln,GeisI{); �el��g�r�x�c�n\v�x6Rb�R(Robinson); ؚ�[�^IQ�v�N(Phillips,SonylQ�S); �x&^(uQ�r@�����Y�NNS(LeyboldlQ�S); ���S:Swzz�^ N�e�SS�eb_bё^\S�~Q(GalileolQ�S). 001984t^ �a-SiIQuOSb�����vQ�r@�6R(Energy Conversion DeviceslQ�S). 001985t^ �wzz��@�YB\Z�Tir���S�_N)R(GElQ�S).1986t^ �^�s^a��x�c�n\�l�vxvz(WindowsI{)0 001987t^ �ؚ)n���[�����v�oIQeR�y�l�y(DijkkampI{);�eh�g�v �\�yP[�nx6Rb�R(Kaufman �RobinsonI{);i_r��U�XSbpS�N(OCLI)0 001988t^ ��S4��g-N���n\�yP[�nx6Rb�R(EsteI{);�vAm�g�r�el��x�c�n\�b/g�[�s�NNS(BOCCTlQ�S);�n\�l�y�����e�c6R�^�R�v�R�S ��Q�lx6Rb�R(Cuthrell �Mattox)0 001989t^ ��v�\yQ�R�������N ��s(W��y:NCP��0 001990t^ ��S�NAm-N���x�c�n\�b/gb�q(LeyboldlQ�S);(u�Nё���g�[hQ�v�~Q@�����Yx6Rb�R(ULVAClQ�S);(u�N�~Q@����vGd�vx6Rb�R(LeyboldlQ�S);'lSݔ�v-N���S�^�n\�l�y�e�lx6Rb�R(LeyboldlQ�S. 001991t^, N�px�{|Z�Tir N@���b�R;ZrNňp����NNS(Leybold). 001993t^ �.RR@����b/g�S�_N)R(GillettelQ�S); 001995t^ �'lSEx;�!c���S�_N)R(BOCCTlQ�S);(u�N}lf�f�op�v(W�~�V_g�n\@����b/gx6Rb�R(LeyboldlQ�S)0 001997t^ �N�px�{|Z�Tir@����b/g�f T:N�V�b/g;Ex N(uirtl�v�l�y�l@�TaN�TCu(IBMlQ�S);(u�Nňp����v�y�~�V_g@�����Yx6Rb�R(LeyboldlQ�S)0 001998t^ �Ǒ(u�n�l5u'_�n�v.RR@�����Y�b�N(GillettelQ�S)0 001999t^ ��V�b/g(u�N'Yb��y�s�t�v�~T@���0 �*h,0-�-�.�/�/ 2�2�3�4�5�67�748�809:l:�:(;�;<N<P<�������������������������gd�n�01�82P��. ��A!�"�#��$��%��S�� ����N@��N ck�e $1$a$$CJKHPJ_HaJmH nHsH tH$A@���$ ؞���k=�W[SOBi@���B nf�h�Ux����(Aq��� \ y �  � �  �  d � �  m 4��E��v�t�X��{� 6V�� '*�0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0����0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0��0�� �;d�g��� Dd���� ,M~����>Ux����(Aq��� \ y �  � �  �  d � �  m 4��E��v�t�X��{� 6V�� '*��0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0���0� 0P<"�*P<P<�8�@�����������0�( � ��B �S ���� ?� "'()2MQ��������+/:ATXcj�������������#fijl�������� SU��   CJKM[bcjkmvw������������������������������   "*+235>?JKLSTV]^`c{|}�������������������������"#:;<=DEGT[\^efuvw~��������������������������� &'8;>AJS`aor|}�������������������� %&'./1@GHJST\_pwxz���������������������������   ! ' ) * 5 < = E R S Y Z [ b o w x  � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �   % & ( 7 9 : C F N U W h i x y { � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �     " # % 1 2 9 : = L M Y \ m n ~  � � � � � � � � � � � � � � � �      , 6 @ A I J M Z j k m { | � � � � � � � � � � � � � � � � �  2 8 : < L S b h j k l s � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �  '/123:HIOQbcnp~��������������������  +,/;KYbcftu|}�������������������)*34<=?OPUV^`bmvwy����������������������������  !-.45>@BNTVXijqstu|���������������������#%'018:<DNTU\^`loqrsz��������������������  ,-469KSU^`do���������������������  0568IOQShiqryz������������������� !"%+,3<HQS\hnpr�������������������������   &* �� :=cf��fi������ CFcf�������� +.LO}���������=@TWwz���������'*@Cps������  [ ^ x { � �  ! � � � �   � �  c f � � � �   l o 36����DG����ux��sv��WZ����z}�� 58UX���� &* '**�Rq�G'�8 g�h!p*�J3S7GSWO�6S�9W�Aw�]�/[��m��n��T��x��@��b @ (@@@@@(��Unknown������������G��z ��Times New Roman5��Symbol3&� �z ��Arial;���[SOSimSun q��h*z'G+z'GN� (N� (!-!),.:;?]}����    & 6"0000 0 0 00000��� � �����=�@�\�]�^���([{�  0 0 00000��;�[����������rd2�HP)��?�����������������������n�2�� wzz@����b/g�SU\�S�SUSERUSER�������Oh��+'��0��������  < H T`hpx���ն�Ĥ������չ��ʷUSER Normal.dotUSER1Microsoft Office Word@F�#@|��ş�@�L�ş�N�����՜.��+,��0� X`px�� �����ITMG( '   ����"#$%&'()*+,-./0123456789:;<����>?@ABCD����FGHIJKL��������O����������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������Root Entry�������� �F0�[�ş�Q�1Table��������!�6WordDocument��������2@SummaryInformation(����=DocumentSummaryInformation8������������ECompObj������������m������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������ ���� �FMicrosoft Office Word �ĵ� MSWordDocWord.Document.8�9�q