离子泵真空度上不去存在多种原因和解决方法，需要我们结合具体情况，采取相应的措施，从而让离子泵的真空度达到预期水平。

　　一、检查离子泵密封性

　　如果发现泵真空度下降，首先要检查离子泵的密封性，检查管道接口和密封件是否正确安装、准确的选择气密性能等级，排除漏气源。

　　二、 更换离子泵故障部件

　　如果故障部件无法修复，需要及时更换，更换新件并复查密封好省略器。

　　三、 清除离子泵污染物

　　离子泵被污染会降低其真空度，所以要定期清除离子泵和管路中的污染物，使用专业清洗剂和器具清除污染。

　　四、离子泵定期检查和维护

　　离子泵是高精度设备，需要定期进行检查维护，及时排除故障，以确保其正常运行。

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