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真空镀膜设备的真空系统构成
发布时间:2014-09-27 浏览:4191 次

  真空镀膜设备的真空系统构成:

  目前在各种真空镀膜设备上所配用的真空系统不但结构各不相同,而且系统的抽气特性也随其工作对象的不同而有很大的差别,归纳起来主要有如下几种系统:通用真空系统、超高真空系统、制冷机低温泵系统。

  一:通用真空系统

  系统的主泵是油扩散泵,泵上方设有水冷挡板(阱),主泵的前级泵为机械泵。这种系统的工作压强在10-2~10-4Pa的范围内。

  二:超高真空系统

  在上述真空系统中加装液氮冷阱或钛泵,就可以使镀膜室真空度提高到10-6Pa以上,从而得到超高真空系统。由于该系统仍采用油扩散泵,所以还是有油的系统。

  镀膜机采用分子泵系统可以获得十分清洁的真空,有利于膜质量的提高。分子泵抽速很大,可以缩短工艺周期。

  三:制冷机低温泵系统

  使用低温泵抽气系统的真空镀膜设备具有一系列优点:无选择性气体、无碳氢化合物污染、具有较大的抽气速率、可以获得较低的极限压力、操作简单、蓬盘维护方便。

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