罗茨泵在清洁或腐蚀性工艺中的应用：在半导体、LCD、光伏太阳能电池以及某些工况条件非常苛刻的化工行业，大都是采用罗茨泵与干式真空泵所组成的真空机组，一方面可以减少干泵尺寸，提高真空机组在中真空范围的抽速，另外真空系统的极限真空值亦可以提高一个数量级。

　　根据罗茨泵的抽气机制，由于它既不需要润滑亦不需要密封介质，从原则上来说应该是无油的。但是罗茨泵的转子必须由轴承来支撑和精密的同步齿轮来传动。

　　这些轴承和齿轮均需要有润滑系统。另外当真空系统抽除腐蚀性气体或蒸汽时，润滑油亦会受到侵蚀。

　　为了降低轴承密封系统两端的压差，通常是将油箱抽成真空。

　　当油箱通过内部通道与罗茨泵出口相连，即由前级泵对油箱进行抽空，这时油箱内的压力略高于泵腔压，力的平均值，这种连接方法是适合于罗茨泵长期工作在较低的工作压力或极限压力的条件下，以获得无油清洁的真空。

　　但是轴封系统一旦失效，由于气体的泄漏是从油箱到泵腔，所以油箱内的油蒸汽会对真空系统造成一定污染。

　　但是工艺气体不会通过轴封而进入油箱，而造成对油的侵蚀。当油箱通过内部通道与罗茨泵入口相连，这时油箱内的压力低于泵腔压力的平均值，这种连接方法是适合于罗茨泵工作在较高的工作压力或压力经常变化的条件下，以获得无油清洁的真空。

　　即使轴封系统一旦失效，由于气体的泄漏是从泵腔到油箱，所以油箱内的油蒸汽绝对不会返回到泵腔，但是工艺气体则会通过轴封系统进入油箱而造成对油的侵蚀。

　　2.德国Leybold公司的防止返油的措施

　　为了防止油箱内的油蒸汽通过活塞环密封装置而渗入到泵腔。油箱是由另外一台辅助真空泵来进行抽空，其油箱内的压力始终是低于罗茨泵泵腔内的压力，其少量的气流是通过活塞环密封装置从泵腔进入到油箱，阻止了油箱内的油蒸汽通过活塞环密封装置返流到泵腔。

　　而油箱内的气体以及少量的油蒸汽在被辅助真空泵抽走以前都要经过端盖上的一个水冷的油分离器，油被冷凝后再返回到油箱，因而大大降低了油箱内油的消耗。

　　但是这种装置是避免齐了工艺气体通过活塞环密封而进入油箱，造成对油的污染。

　　为了彻底解决油箱内的油蒸汽和泵腔之间的交叉污染问题，即既要防止油箱内的油蒸汽通过轴封返流到泵腔而造成对系统的污染，又要阻止工艺气体通过轴封而进入油箱，造成对油的侵蚀。

　　美国Kinney的M/S系列罗茨泵则全部采用机械密封，即除了电机输入端采用图3左下端所示的机械密封外，其余4个机械密封都用来作为泵腔与油箱之间的密封。

　　为了降低机械密封两端的压差，油箱亦由前级泵抽成真空。

　　这种全部是机械密封的罗茨泵特别适合于工艺气体腐蚀性很强的应用场合，为了防腐蚀，这种罗茨泵的内部凡是接触工艺气体的表面都要经过涂层处理，一般是镀Ni，厚度为0.015～0.02 mm，所有密封圈材料为Kalrez全氟橡胶。

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