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真空镀膜设备镀膜误差鉴别方法
发布时间:2014-09-23 浏览:4197 次

  真空镀膜设备光学监控是高精密镀膜的的首选监控方式之一,精确度的改进源于对光学厚度的监控,是采用间接测控。

  特别适合于各种膜厚的镀膜监控包括非规整膜监控。

  最直接的控制方法是石英晶体微量平衡法,保持蒸发速率。

  只要将仪器与系统控制软件相连接,它就可以控制整个的镀膜过程。但温度较高时,它会变得对温度非常敏感。

  在长时间的加热过程中,很难阻止传感器跌入这个敏感区域,从而对膜层造成重大误差。

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