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真空镀膜机虚漏及解决方案
发布时间:2014-09-13 浏览:4133 次

  真空镀膜设备和真空容器达不到预期真空度的原因,除了漏气之外,还由于材料出气或者虚漏的原因。

  虚漏是由于设计或制造加工工艺不当,在系统内形成贮存气源的空穴,这些气体在真空环境下不断释放形成漏气,简称虚漏。

  例如当真空设备内的紧固螺钉没有出气孔,焊缝交叉设计,焊接不完善留有孔穴等都会造成虚漏现象,真空设备中的冷阱若使用不当也会产生虚漏。

  对于超高真空系统来说,残余气体中的二氧化碳可能冷凝在液氮冷阱上成霜,这也是一个虚漏气源。

  漏孔地堵塞现象

  超高真空系统容器、电镀真空器件的漏孔往往是直径在微米数量级的小漏孔,空气中的尘埃或液体都很容易造成漏孔的堵塞,这些情况常常是暂时性的,检漏时好像不漏,但经过抽气之后,又会出现漏气。

  为了提高检查的准确性,一定要仔细处理好检漏部位,尽可能不要用手去摸被检测区域,避免尘埃或油脂堵塞漏孔。

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