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分子泵叶片破碎的原因?
发布时间:2014-09-10 浏览:6768 次

    造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多,归纳起来主要是以下几点:

  1、误操作;比如突然的破真空,因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小,如果叶片的材质比较薄或者比较软,突然的空气阻力会造成叶片变形,这样可能会造成转子静子之间的摩擦,导致打碎。

  2、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的,另外掉进去的东西不一定要多大,但如果硬度够了一样会造成伤害,轻则造成叶片边缘被打成锯齿状,重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装,避免异物掉入。

  3、电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。

  4、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。

  5、分子泵保养时的动平衡没有做好,这是技术的关键,动平衡差,振动就大,抽气效率就差,也容易造成轴承部分的过度磨损。

  6、轴承部分没有使用原厂的标准轴承,效果和尺寸不标准等。

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