真空镀膜机真空泵油的更换并不是说简单的将真空泵油排放掉然后再注入新的泵油即可，在更换真空镀膜机真空泵油时还需要注意对泵内部的残留杂质的清洗。

　　真空镀膜机真空泵连续使用3～4个月以后，即应更换真空泵油。

　　在湿度较大的环境下使用，这里是指被抽容器里的湿度，举例说，在外界湿度很大的情况下，经常暴露大气后恢复抽气，这时就说湿度比较大。

　　如果在外界湿度比较大的情况下，机械泵一直抽一台一直保持真空的设备，那抽再长时间也不需要更换泵油。

　　所以说在湿度比较大的情况下，应酌情缩短换油期。

　　换下的油可经清洁去湿处理后再用。

　　换油方法如下：将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下，旋下注油塞和放油塞，放出污油,断续启动电机4～6次，使各真空小室内的油全部排出。

　　然后从各抽气管加入干净的真空泵油200～300CC，断续启动电动机，再次清洗各真空室。

　　这样，经2～3次重复清洗，放光清洗用油,旋上放油塞，从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗孔的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。

　　真空镀膜机真空泵换油最好在油温升高后进行。

　　对真空镀膜机真空泵严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆卸的清洗;平时也要注意保护进气口，检查滤网，防止灰尘、杂质进入泵内，弄污泵油、损坏真空室。

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