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真空阀在真空镀膜机中的作用
发布时间:2014-08-09 浏览:4638 次

  1.开关气路,当阀1和阀4关闭,阀2打开时,机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空,气流流经预真空抽气管路;当阀2关闭,阀4打开时,机械泵可单独对扩散泵抽真空;当阀1和阀4同时打开时,扩散泵和机械泵可同时工作,对容器进行抽空,此时气流流经扩散泵。可见,阀门在这种操作中的作用是开关气路,改变气流的流经路线。

  2.控制气流大小,调节真空度在图1中,调节阀1的阀盖开启角度,即可调节流经管路的气流量大小;关闭阀2和阀4,通过放气阀3可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气;通过放气阀5可以调节容器内的真空度。

  3.定量充气,在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞,当小洞转向右边和高压气瓶连通时,小洞中就可充满高压气体;当它转向左边和真空容器连通时,就把该体积的高压气体放进容器中去,这样就起到了定量充气的作用。

  真空阀门的种类繁多,通常按阀门的职能、结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类。

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