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真空镀膜机中真空泵的作用
发布时间:2014-08-06 浏览:5224 次

  真空泵在真空镀膜机中主要起到抽真空的作用,这是因为在进行真空镀膜的时候,薄膜材料要先蒸发成为原子或分子,然后以较大的自由程作直线运动,碰撞基片表面而凝结,形成一层薄膜。

  如果镀膜室里面残余的气态分子过多,那么就会和蒸发材料的原子或分子发生频繁的碰撞,影响蒸发材料的原子或分子到达基片,形成薄膜。

  还有残余气态分子过多的话,可能会导致薄膜的纯净度和牢固度下降,同时导致蒸发材料容易被氧化而产生杂质。

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