当前位置:网站首页 > 技术中心

技术中心 Technology

电子行业真空镀膜靶材有哪些?
发布时间:2014-07-17 浏览:4266 次

  由于靶材种类繁多,常用靶材一般通过真空感应熔炼、真空电弧熔炼、真空电子轰击熔炼,真空热压,气体保护热压,热等静压等冶金手段制造,加工工艺视材料的物理特性而定。

  根据材料组织结构的不同,可获得单相、多相晶体组织,也可获得固溶体或金属间化合物,还根据需要获得有序或无序结构,这些对制成薄膜都是相当重要的,因为一个好的二维结构的薄膜很大程度上取决于三维结构的靶材。

  为了在靶材制备过程中质量控制,一般采用辉光放电质谱仪、原子吸收光谱仪、电磁感应偶合等离子体光谱仪、X射线显微荧光光谱仪、扫描电子显微探针、X射线衍射仪等设备进行质量追踪。

  为了获得理想的薄膜,应要求靶材在几何尺寸和形状上非常均匀,有时为了使用方便还需将靶材与靶托进行Bonding。

  靶材与当代许多先进科学技术有关,它的应用十分广泛,如在电子薄膜、光学薄膜、机械薄膜、防护薄膜、装饰薄膜等方面,而且,这些领域对靶材的性能要求越来越严格。

  当高速粒子实现溅射可在任何物质上发生,尤其高熔点、低气压和化合物等物质都可以制成靶材,金属及合金、难熔金属、硅化物、氧化物、氮化物、贵金属及其合金、磁性金属及合金、稀土材料。

  爱加真空专业销售和维修各种进口真空镀膜设备以及美国Polycold捕集泵销售、维修,欢迎来电咨询洽谈!

相关阅读

真空镀膜所使用的靶材有哪些

  
Baidu
map