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真空状态下金属的物质蒸发条件
发布时间:2014-07-12 浏览:9759 次

  镀膜材料加热到一定温度时就会发生气化现象,也就是由固体状态或液体状态进入到气体状态,在真空条件下物质的蒸发比在常压下容易得多,所需的蒸发温度也大幅度下降,因此熔化蒸发时间可以缩短很多,蒸发效率明显地提高。

  例如,在一个大气压下,铝必须加热到2400℃才能蒸发,但是如果在10-3Pa的真空条件下只要加热到847℃就可以大量蒸发。

  常用材料的熔化与蒸发温度(蒸气压lPa)

材料名称 熔化温度/℃ 蒸发温度/℃
660 1272
1535 1477
1063 1397
157 957
321 271
1410 1343
1667 1737
3373 3227
1084 1084
232 1189
961 1027
1900 1397
420 408
1452 1527
1550 1462
Al2O3 2050 1781
SiO2 1710 1760
B2O3 450 1187

  从表中数据可以看出,某些材料如铁、镉、硅、钨、铬、锌等可从固态直接升华到气态,而大多数材料则是先熔化,然后从液相中蒸发。

  一般来说,金属及其热稳定化合物在真空中只要加热到其饱和蒸气压达到IPa以上时,均能迅速蒸发。

  而且除了锑以分子形式蒸发外,其他金属均以单原子形式蒸发进入气相。

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