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真空系统最大允许漏气率计算方式 |
发布时间:2014-06-30 浏览:10512 次 |
如果真空系统是一台泵抽20个容器,真空是动态真空。系统抽速2500L/S,系统工作压力需要达到100pa。每个容器检漏时是独立检漏的。那么最大允许漏气率是如何计算的? 是用系统的最大允许漏率/20,因为漏率——Q漏=V(P2-P1)/t,其中Q漏: 系统漏率(Pa•l/s)V: 系统容积 (l)P1: 真空泵停止时系统中压强(Pa) P2: 真空室经过时间t后达到的压强(Pa)t: 压强从P1升到P2经过的时间(s)如果这20个腔室的状态一致,即漏气速率相同,那么,不管是联在一起还是单独隔开,它们在抽气停止相同时间后达到的压强是一致的。 因此,漏率和腔室容量成正比,而不需要考虑压强和时间的影响。 当测出整个真空系统的漏率后,单个系统的漏率便可以由容积比分别算出来。 用公式表达如下:Q漏=V1(P2-P1)/t+V2(P2-P1)/t+V3(P2-P1)/t+...+V20(P2-P1)/t=Q1漏 + Q2漏 + Q3漏 + ...+Q20漏 以上资料由爱加真空收集整理,仅供参考。 |