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磁控溅射镀膜时需满足什么样的条件?
发布时间:2014-03-24 浏览:6131 次

磁控溅射镀膜时需满足什么样的条件?

  镀膜的方法有很多种,真空镀膜,真空蒸发镀膜,还有离子镀膜等等,但是最近一段时间比较热门的磁控溅射镀膜,好像很厉害的样子,今天我们一起来听听真空镀膜设备厂家东莞爱加真空来给我们介绍一下磁控溅射的原理吧!


  磁控溅射在放电的过程中,会离轰击阴极产生二次放电,电子一班在阴极的位置电场下产生作用,然后与正在加速的气体发生碰撞,这样可以让气体分子维持放电状态,因为电子在电场加速的轨迹一般都是直线,所以发生碰撞的几率是很低的,如果我们在与电场垂直的方向加磁场,电子会成为与运动轨迹相同的摆线,在实际的磁控条件中,从阴极发出来的电子是有能量的,并且在很阴暗的地方电场是不均匀的,从阴极发射出来的电子运动轨迹都会形成不规则的摆线,我们称为摆线运动,溅控溅射镀膜机的靶子就是这个镀膜的源头,在运行过程中他必须满足两个条件,第一个是必须要有正交的电磁场,第二个是电磁场的防线必须要是平行的,并且在闭合的地方有水平磁场,从阴极发射出来的电子,会在阴暗地区活得能量,有了水平磁场的存在他就能直接飞向阳极,在接近轨迹的时候,电子轨迹的运动就会假唱,而且只有电子可以通过能量交换掏出磁场,在能量没有完全交换之前,飞行一百米左右完成镀膜,所以真空镀膜机被称为最快的溅射速度!    

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