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镀膜设备技能需求
发布时间:2014-02-17 浏览:4262 次

镀膜设备技能需求


1、镀膜设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的规划方式,应契合GB/T6070
的规则。


2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应设备真空丈量规管,别离丈量各部位的真空度。
当发现电场对丈量形成搅扰时,应在丈量口处设备电场屏蔽设备。


3、若是设备运用的主泵为分散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱


4、镀膜设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板设备。观察窗应能观察到堆积源的作业情况以
及其他关键部位。


5、离子镀堆积源的规划应尽能够进步镀膜过程中的离化率,进步镀膜资料的利用率,合理匹配
堆积源的功率,合理安置堆积源在真空室体的方位。


6、合理安置加热设备,通常加热器规划规划应使被镀工件温升均匀共同。


7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的规划应使工件膜层均匀


8、离子镀膜设备通常应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有按捺非正常放电
设备,保持作业安稳


9、真空室接不一样电位的各部分间的绝缘电阻值的大小,均按GB/T11164-1999中的4.4.6
1、镀膜设备环境温度:10-30oC
2、镀膜设备相对湿度:不大于75%
3、镀膜设备冷却水进水温度:不高于25oC
4、镀膜设备冷却水质:城市自来水或适当质量的水
5、镀膜设备供电电源:380V三相50Hz或220V单相50Hz(由所用电器需求而定);电压动摇规模:
342-399V或198-231V;
频率动摇规模:49-51Hz.
6、镀膜设备所需的压缩空气,液氮,冷水、热水等的压力、温度,消耗量等,均应在产品运用
说明书中写明。
7、镀膜设备周围环境整齐,空气清洗,不该有导致电器及其他金属件外表腐蚀或导致金属间导
电的尘土或气体存在。

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