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真空镀膜机的真空泵出现故障怎么办?如何解决?
发布时间:2014-01-22 浏览:8316 次

   真空镀膜机所有的零部件当中最重要的就是真空泵了,真空泵如果出了故障,镀膜设备就没办法正常工作了,所以今天我们就跟大家介绍一下,真空泵小故障该如何解决吧!


1、旋片式真空泵冒烟和喷油:指旋片式真空泵在运转中排气口冒烟或者喷油,冒烟,如果是泵刚刚开始运转有冒烟的现象,属于正常,如果长时间在冒烟就是不正常了。

解决办法:冒烟说明泵的进气口外,包括管道、阀门、容器有修理的情况。检漏以后处理了,冒烟会结束。


2、喷油,说明进气口外有大量的漏点,甚至是进气口暴露大气。
解决办法:封住泵的进气口使泵运转,如果不喷油的话,说明有漏点;排气阀片损坏,检查排气阀片是否损坏,更换坏的排气阀片。


真空镀膜机真空泵真空度下降怎么办?
3、被抽气体的温度可能过高。
解决办法:降低被抽气体的温度,或可以加一个相应的换热器。


4、配合的间隙改大。这是长期被抽气体内含有粉尘等,造成旋片和定子之间磨损后的间隙增大。
解决办法:检查间隙是否过大,更换新的零部件。


5、泵内的油路不通或者不畅,泵腔内没有保持一定量的油量。
解决办法:检查油路是否畅通,并加同类型的真空泵油。

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